透過Aurora振動監診系統應用於半導體產業中,達到提升良率、更高稼動率與更有效的人力分配等應用。
Aurora振動監診系統是一款專為工業機械設備設計的智慧健康監測系統,並廣泛應用於半導體業等高精密產業。該系統結合邊緣運算技術,將振動感測、訊號處理、AI模型分析融為一體,能即時萃取設備振動訊號的特徵,計算整體振動能量及各零件損傷模式,並自動判斷設備健康狀態,發出警訊以防止故障。在半導體製造中,Aurora振動監診系統用於監測搬運設備、機械手臂、冷卻水泵浦及其他關鍵機械的振動健康,保障生產線順暢運行並降低無預警停機風險,大幅提升產能與產品質量。透過智慧感測與AI分析,提供一套經濟高效、即時、精準的設備健康監測方案,協助預測維護及風險管理,確保穩定的生產與最大化的效益。
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在 Z1、Z2、Z3 三支主軸佈署 Aurora 313MM2-R1 搭配 RULe.TI004,避免單次高達 34 萬美元的損失。

在檢測地震時,藉由DynaMon 監診系統在照片範圍內將設備做連結來防止損壞發生。
以 DynaMon 取代傳統地震儀,成本約為三分之一。

如何防止智能半導體工廠真空幫浦無預警停機?
DynaMon 在真空幫浦故障前 27 天發出警報,避免 10 萬美元損失。
