目的

當用來作動高溫氧化爐系統的真空幫浦突然損壞時，機台內的晶圓會因此損壞，造成巨大的損失。這些故障，尤其是在高溫氧化製程，光材料損失救造成5至10萬美元的損失，還未包含無預警故障造成的財損。因此，半導體工廠希望在不增加年度維護成本的前提下，以最有經濟效益的方式做到提前預警。

挑戰

策略

texol提供專業訓練課程，與一套標準作業程序，協助使用者自力建置一個強大的AURORA 監診系統，做到提前預警，降低無預警故障風險。

轉子是真空幫浦中最脆弱的零件。一對轉子應保持非常近的距離，並且在正常運行中不得接觸。 然而，空氣導管中的晶體有時會被吸入轉子，並導致轉子之間的摩擦。 當越來越多的晶體進入轉子時，它們會磨損或突然卡住。 這是真空幫浦的主要故障模式之一。

首先，用戶收集真空幫浦的設計圖和的運行狀況，並計算了數個主要故障模式的頻譜特徵。同時，他們使用DynaView頻譜和特性分析儀收集20多個Ebara真空幫浦的振動訊號。在DynaView中，他們研究並檢測了頻譜中的馬達和轉子的頻譜特性。

其次，用戶部屬了數個似通道PC版的監診系統，此監診系統為DynaMon。它已經建置了數台真空幫浦轉子模損與其他損壞特徵的頻帶於系統內。DynaMon線上監診系統不只能及時監控機器健康狀態，也可以定期記錄振動訊號。這些訊號與DynaView相容，因此當有新的特徵出現，用戶可透過DynaVier再次進行研究與標定。同時， Aurora無限監診系統，包含了許多的感測器與藍芽接收器，和一套裝置管理軟體，也陸續建置於真空幫浦上。

效益

DynaMon 監診系統成功的在真空幫浦故障的27天前發送警報。成功地避免10萬美元的損失。數百台的真空幫浦陸陸續續安裝上Aurora無線振動監診系統，使此半導體廠可一年可以省下50 - 70萬美金。

texol是誰

texol十年來持續專注於振動與聲音的研究，我們不只提供監診系統給機械的使用者，也提供頻譜分析軟體，與顧問服務給機械製造商。我們提供一站式完整方案，在機器的完整生命週期內，讓它們被設計得更佳、組裝得更好與運作得更有效率。

Aurora是什麼

Aurora是一套有線/無線設備健康狀態監診系統，即時線上監控與報警，達到完美的監診效果。Aurora系統有幾個主要的特色:

使用方案